ダイヤモンド切削工具切れ刃の光学式形状測定に関する研究

抄録

ダイヤモンド切削工具による加工精度の保証のため，工具切れ刃形状の迅速かつ定量的な評価が求められている．筆者らはこれまでに，マイクロサイズの光プローブを工具切れ刃エッジ輪郭に沿って走査した際のプローブ走査軌道とエッジ輪郭通過光量の変化から工具エッジ輪郭形状を求める手法を開発してきた．本報では，この工具エッジ輪郭形状測定の高精度化と工具すくい面形状の同時計測を実現する，新しい光学式測定装置を提案する．