変位拡大機構を利用した共振駆動型SIDMの駆動に関する研究

抄録

近年Smooth Impact Drive Mechanism(以下SIDM)と呼ばれる圧電アクチュエータの一種で、共振振動の重ね合わせにより駆動する共振駆動型SIDMが先行研究において提案されている。しかし粗動後の微小位置決め時に必要な変位を得るには、高電圧を印加する必要があった。本研究では、変位拡大機構を用いることで、より低電圧で位置決め可能な共振駆動型SIDMアクチュエータの構造を提案する。