1ミリ立方メートルのステータを用いた小型超音波モータの試作

抄録

本研究では，これまでにマイクロ超音波モータの研究でよく用いられてきた曲げの振動モードではなく，3波の振動モードをもちいることで，超音波モータの小型化を試みた．1ミリ立方メートルのステータを用いて，駆動実験に成功したので報告する．