チタン酸バリウム微粒子の薄層固定化とその圧電特性

小山 雄平; 諸貫 信行; 西尾 学

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_955

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: L40

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_955

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主催: 公益社団法人精密工学会

チタン酸バリウム微粒子の薄層固定化とその圧電特性

*小山雄平, 諸貫信行, 西尾学

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キーワード: 圧電素子, 微粒子, 薄層

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抄録

従来，焼結法等で作製された圧電素子を，誘電体微粒子を樹脂で固定化するという簡易的な方法で製作している．粒径100，300nmのチタン酸バリウム微粒子を樹脂中に高密度に配置し，厚さ20μm程度の薄層構造を作製し，その後，分極処理を行って圧電特性を与えるとともにその評価までを行っている．パラメータとして微粒子の濃度，粒径，構造厚み，分極電界強度等が最終的な圧電特性に及ぼす影響を調べ，設計指針を明らかにしている．

責任著者(Corresponding author)

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