デジタル式アコースティックエミッションセンサの開発（第3報）

ピエゾ抵抗素子一体型カンチレバーアレイの作製と電気的特性評価

抄録

本研究では，材料内部で変形や破壊が生じる際に発生する弾性波であるアコースティックエミッション（AE）を，非破壊かつInSituでモニタリングするためのデジタルAEセンサの開発を行っている．本報では，AE信号を共振により検出するSiカンチレバーアレイおよびピエゾ抵抗素子を一体化したデジタルAEセンサの作製を行った．また，ピエゾ抵抗素子部の電気的特性評価を行った．