幾何形状計測用X線CTにおける試料材質由来の寸法測定誤差に関する研究

松崎 和也; 佐藤 理; 藤本 弘之; 阿部 誠; 高辻 利之

doi:10.11522/pscjspe.2015A.0_139

2015年度精密工学会秋季大会

セッションID: B68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015A.0_139

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主催: 公益社団法人精密工学会

幾何形状計測用X線CTにおける試料材質由来の寸法測定誤差に関する研究

*松崎和也, 佐藤理, 藤本弘之, 阿部誠, 高辻利之

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キーワード: X線CT, マテリアルエフェクト, 三次元座標計測, 長さ測定誤差

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抄録

内外計測可能な三次元座標測定機として幾何形状計測用X線CTが注目されている．しかし，形状測定の精度評価やトレーサビリティの確保は十分ではない．特に，X線CT固有の誤差として試料の材質によってX線の吸収や散乱の違いが測定結果に影響を与えることが知られている．本研究ではこの影響を検出するためのゲージを作成し実験を行い，試料材質由来の誤差について評価した．

責任著者(Corresponding author)

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