PVDコーティング工具による難削材の高能率加工 フィルタードアーク蒸着法(FAD)によって形成した膜の評価

藤本 哲生; 細川 晃; 古本 達明; 小谷野 智広; 嶋村 公二

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_1025

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: R02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_1025

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主催: 公益社団法人精密工学会

PVDコーティング工具による難削材の高能率加工

フィルタードアーク蒸着法(FAD)によって形成した膜の評価

*藤本哲生, 細川晃, 古本達明, 小谷野智広, 嶋村公二

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キーワード: PVD, FAD, TiNコーティング, エンドミル加工

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抄録

ドロップレットのない平滑な膜が得られるフィルタードアーク蒸着法 (FAD)によって形成したコーティング工具の切削特性を評価している．FAD-TiNコーティング工具の耐摩耗性は成膜時における基板バイアス電圧およびN₂流量に依存する．SATAVAXプリハードン鋼のエンドミル加工において，適切な条件で生成したFAD-TiN膜は市販のホローカソード源によるPVD膜と同等かあるいはそれ以上の切削特性を示す.

責任著者(Corresponding author)

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