MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）

平面測定用デバイスの製作

抄録

5つの変位計を一体成型した平面形状測定用のデバイスを製作した．本デバイスはMEMSセンサであるためセンサ配置誤差が小さいという特徴を持つ．デバイスの製作にあたり，第４報で示した水ガラスを用いた回路保護方法を改善することで，水ガラス保護層のムラをなくし，ウェットエッチングの際により確実な回路保護を可能にした．また，ドライエッチングによって探針面のみをエッチングする新たな方法での探針製作を試みた．