高速光コムによるボールレンズ干渉計を用いた形状計測法

抄録

産業・工業界において形状計測は必要・不可欠である。この場合、精密で高速の測定技術が求められる。本報告では、高速光コムによるパルス干渉計による絶対測長技術に、ボールレンズを併用して、精密な形状計測法を開発し、予備実験を行ったので、これらの結果に関して報告する。