MCFスラリーを用いた微細V溝の精密研磨

藤本 正和; 呉 勇波; 野村 光由; 島田 邦雄

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_235

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: D35

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_235

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主催: 公益社団法人精密工学会

MCFスラリーを用いた微細V溝の精密研磨

*藤本正和, 呉勇波, 野村光由, 島田邦雄

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キーワード: MCFスラリー, 精密研磨, 微細V溝

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抄録

本研究は，MCF（磁気混合流体）スラリーを用いて，マイクロフレネルレンズ用金型など微細形状を精密に研磨することを目的とするものである．本報では，数100μm以下のピッチで形成された微細V溝を有するNi-Pめっきを施した純銅について，低周波振動を援用したMCF研磨実験を行い，その超精密研磨の可能性について検討したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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