精密工学会学術講演会講演論文集
2015年度精密工学会春季大会
セッションID: D35
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MCFスラリーを用いた微細V溝の精密研磨
*藤本 正和呉 勇波野村 光由島田 邦雄
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抄録
本研究は,MCF(磁気混合流体)スラリーを用いて,マイクロフレネルレンズ用金型など微細形状を精密に研磨することを目的とするものである.本報では,数100μm以下のピッチで形成された微細V溝を有するNi-Pめっきを施した純銅について,低周波振動を援用したMCF研磨実験を行い,その超精密研磨の可能性について検討したので報告する.
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© 2015 公益社団法人 精密工学会
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