磁気機能性流体を利用した超精密平面磁気研磨法の開発

抄録

本研究は、従来の平面磁気研磨法にさらに公転運動を加えた新しい平面磁気研磨法を提案している。すなわち加工面にムラが発生することを防ぐために磁極に回転運動と送り運動、公転運動を加えることで加工軌跡の均一化を図る加工方法である。そして新しい平面磁気研磨法の加工特性を明らかにするために工作物にチタン合金を用いて平面磁気研磨実験を行った。その結果と詳細について報告する。