サブミクロンオーダ切削の高精度化に関する研究

抄録

近年，超精密加工において加工形状の複雑化，微細化，大面積化に伴い，数日間に及ぶ長時間加工が必要となっている．そこで，本研究では超精密切削の高精度化を目標とし，長時間加工で問題となる熱変位量を静電容量型変位計を用いて測定し，補正した．その結果，1日あたり最大の熱変位量を±0.1μm以下に抑えることが可能であった．また，前加工による加工変質層深さの影響についても調査したので報告する．