磁束密度を用いた超磁歪素子駆動微動機構の位置決め

抄録

微細構造を創成した機能表面のニーズが高まっている．本研究ではフライス加工を対象とした高速工具サーボによる微細構造の創成を目的とし，そのために必要な磁束密度を用いた位置決めを実現する超磁歪素子駆動微動機構を開発する．具体的には超磁歪素子をアクチュエータとすると共に，ホール素子を用いて逆磁歪効果による磁束密度変化から微小変位の推定を行う．さらに，その変位をフィードバック制御し微小位置決めを実現する．