シリコンウエハの鏡面スライシング加工における加工液と工作物固定用接着剤が加工に与える影響

抄録

　別報において，樹脂コーティングワイヤとダイヤモンドスラリーを用いたマルチワイヤソースライシングでシリコンをスライシングすると，その加工面は鏡面が得られることが報告されている．しかし，切断中に加工特性の変化を生じると，加工面はその影響を強く受ける．そこで，本報告ではスラリー供給方法が加工面性状へ与える影響や工作物を固定する際に用いる接着剤が加工面性状に与える影響について評価した結果を報告する．