感光性・可溶性ブロック共重合ポリイミドを用いたナノパターニング法の成型評価

抄録

ポリイミドなどの耐熱性樹脂のナノパターンニング技術の開発は、光・バイオデバイスの分野で期待されている。本研究では感光性・可溶性ブロック共重合ポリイミド（SBC-PI）を用いたナノインプリント法によるサブミクロンパターンの成型評価を行った。SBC-PIに感光剤を25wt%含有させることにより、高精度に最小117 nm幅のパターンやアスペクト比6.5のサブミクロンパターンを形成することに成功した。