誤差要因排除によるナノ加工の実現（キーノートスピーチ）

抄録

　機械加工に対して更なる高精度化が要求され，ナノメートルオーダの加工の実現が必要となっている．しかしこのような高精度な加工を実現するためには，システムの各部において誤差要因となり得る因子について考慮する必要がある．本稿では，著者らがこれまで取り組んできた研究を例に，誤差要因の排除という観点から，超精密精密位置決めテーブルの開発，および工具―工作物間距離のモニタリングについて紹介する．