光学式顕微鏡及び断面形状積算法を用いた単発放電痕の調査

抄録

断面形状積算法は単発放電痕の各部の詳細な体積情報が得られる．しかし，体積算出に膨大な時間がかかり，また，測定方法上，一度しか調査を行えない．一方，光学式顕微鏡を用いれば単発放電痕を短時間かつ効率的に測定ができると考えられるしかし，これを用いた単発放電痕の詳細な調査や誤差について，ほとんど検討されていない．本報告は断面形状積算法と測定原理の違う二種類の光学式顕微鏡にて測定し比較した．