直交電極を積層印刷した静電アクチュエータの下層電極の駆動性能

井口 龍太; 山本 晃生

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_567

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: J16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_567

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主催: 公益社団法人精密工学会

直交電極を積層印刷した静電アクチュエータの下層電極の駆動性能

*井口龍太, 山本晃生

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キーワード: 静電アクチュエータ, スクリーン印刷

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抄録

積層印刷によって製作された直交電極群を有する静電アクチュエータを用いて2自由度駆動が実現されている．同アクチュエータにおいては下層電極をX軸駆動用電極，上層電極をY軸駆動用電極として駆動を行っているが，下層電極を用いて駆動を行う際に上層電極の存在や電位が駆動性能に影響を及ぼす可能性が懸念されている．本研究では上層電極が下層電極の駆動性能に及ぼす影響を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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