積層型圧電アクチュエータの荷重下特性

広範囲駆動時の変位と誘電率の特性変化

抄録

積層型圧電アクチュエータに，一定予圧を加えた状態で正弦波状に電圧駆動すると，条件により変位振幅が増大する．また圧電素子の誘電率も予圧によって変化する．これまでも測定器の制限から低い駆動電圧範囲における荷重下特性を調べてきた．本報では，駆動限度程度までの広範囲で変位と誘電率の同時計測で調査した結果，全域にわたって変位と誘電率の特性の変化の傾向が異なることを確認できたので，その結果を報告する．