ペルチェ冷却による精密位置決め装置の熱変形抑制 ボールねじの熱膨張低減

鈴木 隆太郎; 大塚 二郎; 十朱 寧; 西出 哲弘; 中田 篤史; 大澤 洋文; 野崎 孝志

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_595

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: J63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_595

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主催: 公益社団法人精密工学会

ペルチェ冷却による精密位置決め装置の熱変形抑制

ボールねじの熱膨張低減

*鈴木隆太郎, 大塚二郎, 十朱寧, 西出哲弘, 中田篤史, 大澤洋文, 野崎孝志

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キーワード: 精密位置決め, ペルチェ効果, ボールねじ, フィードバック制御

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抄録

セミクローズド制御の精密位置決め装置では，ボールねじの熱膨張による位置決め誤差が発生する．本研究では，ペルチェモジュールによる冷却システムを用いステージ上面及び玉軸受支持台両側面の計3箇所を冷却することで、ねじ軸の温度を一定に保ち、熱膨張量を低減することを目的とする．実験の結果、ボールねじの熱膨張量を2μmまで低減することに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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