同軸二重型差動ボールねじを用いた超高分解能リニアステッピングアクチュエータ

抄録

前報までに，わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを試作した．本報では，同軸二重型差動ボールねじとステッピングモータを一体化した超高分解能リニアステッピングアクチュエータを新たに試作し，その位置決め分解能と送り精度を実験により評価している．さらに送り誤差の補正方法について検討し，開ループ制御による簡便な補正法の有効性を検証している.