精密工学会学術講演会講演論文集
2015年度精密工学会春季大会
セッションID: J67
会議情報

マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究(第5報)
*本田 智中澤 道大
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
抄録
ピッチ60μmのマイクロピッチラックとこれに噛み合うマイクロピッチ歯を線径30μmの超極細ワイヤを用いて製作し,また三角カム機構と変位縮小機構を組み合わせることで60μmの歩幅でステージを移動できるインチワーム駆動ユニットを考案した.そしてこれらを組み合わせた精密位置決めステージを試作したので,このステージの構造と動作,および,位置決め性能について報告する.
著者関連情報
© 2015 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top