マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究（第5報）

本田 智; 中澤 道大

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_601

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: J67

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_601

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主催: 公益社団法人精密工学会

マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究（第5報）

*本田智, 中澤道大

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キーワード: マイクロピッチラック, 精密位置決めステージ, 三角カム機構, 変位縮小機構, 超極細ワイヤ, インチワーム駆動

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抄録

ピッチ60μｍのマイクロピッチラックとこれに噛み合うマイクロピッチ歯を線径30μｍの超極細ワイヤを用いて製作し，また三角カム機構と変位縮小機構を組み合わせることで60μｍの歩幅でステージを移動できるインチワーム駆動ユニットを考案した．そしてこれらを組み合わせた精密位置決めステージを試作したので，このステージの構造と動作，および，位置決め性能について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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