大ストロークを有する放電加工用磁気・静圧ハイブリッド駆動アクチュエータ（第２報）

アクチュエータによる放電加工実験

抄録

放電加工の高速化，高精度化，微細化を目指すために，本研究の第１報では，ミリメートルのストロークを有する，高速・高精度な磁気・静圧ハイブリッド駆動アクチュエータを提案・試作し，その位置決め性能を評価した．本報では，試作したアクチュエータを放電加工機に取り付け，放電加工速度の向上への有効性を検討する．また，3次元加工の可能性を確めるため，平面上で円軌道に電極を揺動しながら放電加工を試みる．