高速・高精度放電加工用磁気・圧電素子ハイブリッド駆動アクチュエータ（第２報） アクチュエータを用いた微細放電加工

内山 公貴; 張 暁友

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_611

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: J75

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_611

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主催: 公益社団法人精密工学会

高速・高精度放電加工用磁気・圧電素子ハイブリッド駆動アクチュエータ（第２報）

アクチュエータを用いた微細放電加工

*内山公貴, 張暁友

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キーワード: アクチュエータ, 放電加工

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抄録

放電加工の高速化と高精度化の実現のため，本研究の第１報では，電極の加工方向に高速・高精度に位置決め可能，また加工方向と垂直な平面内で千ヘルツ程度の周波数，数マイクルメートルの振幅で加振可能な磁気・圧電素子ハイブリッド駆動アクチュエータを提案し，その性能を評価した．本報では，アクチュエータによる電極の加振振幅と加工速度の関係，及び加振周波数と加工速度の関係を検討する．

責任著者(Corresponding author)

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