多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法（第1報） 基本構想

古谷 克司; 中村 祐介

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_613

抄録

液晶ディスプレイなどのガラス基板や半導体ウエハを清浄に保ちつつ搬送するためには，非接触搬送法が必要となる．そこで本研究では，多相の空気流路から空気を吐出・吸引することで被搬送物をわずかに傾けるとともに，空気流を裏面に当てることで駆動力を発生させる．被搬送物の位置に応じて空気流を与えるパターンをシフトすることで，連続的に搬送できた．

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責任著者(Corresponding author)

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