深海微小試料の現場観察に向けた海中原子間力顕微鏡の開発（第2報） パリレンコーティングを施した自己検知型カンチレバーでの微小試料の撮像

松原 直貴; 西田 周平; 福場 辰洋; 木下 晴之; 許 正憲; 藤井 輝夫

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_621

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: K03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_621

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主催: 公益社団法人精密工学会

深海微小試料の現場観察に向けた海中原子間力顕微鏡の開発（第2報）

パリレンコーティングを施した自己検知型カンチレバーでの微小試料の撮像

*松原直貴, 西田周平, 福場辰洋, 木下晴之, 許正憲, 藤井輝夫

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キーワード: 原子間力顕微鏡, 現場計測, 自己検知型カンチレバー

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抄録

深海に存在する微小試料を現場環境のままで高分解能観察を行うために，海中探査機に搭載し試料の採取から観察までを海中で行う現場型原子間力顕微鏡の開発を行っている．高圧力下・液体中で装置を使用するために，装置の小型化や耐圧化，海水からの構成部品の保護機構の開発を行った．現在，海洋探査の現場に本装置を投入することを目指して，陸上における撮像性能の実証実験を実施している．

責任著者(Corresponding author)

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