フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発

猿渡 達彦; Dhelika Radon; Hemthavy Pasomphone; 高橋 邦夫; 田口 良広; 齋藤 滋規

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_805

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: M16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_805

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主催: 公益社団法人精密工学会

フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発

*猿渡達彦, Dhelika Radon, Hemthavy Pasomphone, 高橋邦夫, 田口良広, 齋藤滋規

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キーワード: 静電チャック, 曲面, 表面粗さ, フォトリソグラフィ, マニピュレーション, 静電力

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抄録

導電性を有する微細かつ柔軟な梁の集合体構造により，曲面形状の物体表面に対して高い吸着力を発生可能な静電チャックを開発する．従来の同方式の静電チャックの問題として，梁のミスアライメントや高曲率の面に対して梁の寸法が大きいことによる吸着力の低下がある．本研究では，フォトリソグラフィを用いて幅５０マイクロメートルのシリコンの梁を配列した静電チャックを試作し，実験的に正弦波曲面に対する吸着性能を評価する．

責任著者(Corresponding author)

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