マイクロハイドローリックアクチュエータの自立駆動化

榊原 隆; 木下 晴之; 大島 まり; 藤井 輝夫

doi:10.11522/pscjspe.2015S.0_935

2015年度精密工学会春季大会

セッションID: Q02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2015S.0_935

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主催: 公益社団法人精密工学会

マイクロハイドローリックアクチュエータの自立駆動化

*榊原隆, 木下晴之, 大島まり, 藤井輝夫

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キーワード: マイクロハイドローリックアクチュエータ, 自立駆動, 柔軟素材, 電気浸透流ポンプ

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抄録

マイクロハイドローリックアクチュエータ(MHA)の自立駆動に成功した．柔軟素材(PDMS)でできたMHAは，内蔵した圧力源から微細流路に圧力を加えることで，平面形状から3次元的な動きを生み出す．圧力源である電気浸透流ポンプと，それを作動させるアナログ電気回路や電源を数センチ四方に集積化し，それらをアクチュエータ本体に搭載することでMHAの自立駆動を可能にした．実証実験の結果，4個のMHAを同時に作動させることができた．

責任著者(Corresponding author)

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