不織布研磨パッドの高機能化

抄録

不織布研磨パッドは、ウレタン樹脂をPET製の不織布に含浸することにより製造され、主にシリコンやサファイア基板、ガラス等の一次研磨に使用されている。本研究では、ウレタン樹脂より親水性の高いエポキシ樹脂を不織布に含浸し、研磨特性に優れたパッドを開発した。不織布研磨パッド上の砥粒滞留を考慮し、エポキシ樹脂とウレタン樹脂の二重含浸の不織布パッドも作製し、研磨特性などの評価を行った。