圧電縦振動における２次非線形高調波の測定

抄録

超音波デバイスなどに用いられる圧電材料は高負荷条件での駆動が行われているが、現在の設計では圧電効果の非線形性が顕著となる実際の駆動には対応できない。これを解決するためには圧電効果の非線形性の理解が必要となる。これまで本研究では2次の非線形モデルを構築し圧電横効果においてその妥当性の検証を行っている。今回はこれを実デバイスで用いられることの多い圧電縦効果へと適応する。