円弧ランダムパスを用いたCNC研磨による研削模様の除去

抄録

光学部品加工では研磨面に規則的な模様を残さないことは干渉ノイズを減らすために重要である．本研究では円弧ベースのランダムパスを作成し，フォトマスクの研磨シミュレーションと研磨実験を行った．研磨実験において研磨面の表面うねりを波長領域に変換した結果，ピークゲインは従来の矩形型パスの0.9nmに対してランダムパスでは0.5nmになった．なお，研磨機の位置決め誤差と速度誤差は指令値の変更によって補正した．