綿状ナノファイバーの製造とその超精密研磨加工への応用

抄録

遊離砥粒加工は，微細な砥粒を用いることで，数ナノメートルオーダーの仕上げ面粗さを容易に得ることができる．本報では，改良型メルトブロー法によるナノファイバーの安定した製法を検討し，その生成したファイバーのオイル吸着性能および研磨性能を用いて，新型研磨材の研磨布として基礎実験を行った．さらに，試作した種々繊維径のファイバーの研磨特性を調べた上で，市販の研磨フェルトなどの研磨材に比較し，その優位性を示した．