LTウエハ研削プロセスにおける応力計算

抄録

タンタル酸リチウム単結晶（LiTaO3またはLT）は，圧電・焦電性を持ち多機能材料として幅広く使われる．圧電及び焦電特性が働いているため，材料の機械特性に影響される．本研究の目的は、LTウエハ研削における機械的応力，電気的応力，熱的応力三つの応力を分析した．<0001>に沿って焦電及び圧電効果が発生する力は総合応力の80%を占めている．また，<2110>（あるいはX-cut面）は総合応力の90%を占め，亀裂がX-cut面上には発生しやすいと示唆している．