リニアボールガイドを用いたナノメータ輪郭制御　第1報

抄録

輪郭制御は直線運動と円運動の組み合わせで考えることが出来る。リニアボールガイドとリニアモータからなる機構系を閉ループ制御し、直線運動と円運動の組み合わせ運動を行う。発生する位置偏差をメモリし、再び同じ動作を行う際、メモリした位置偏差を元に位置指令を補正し位置偏差を相殺した。本補正方法では円運動での象限突起だけでなく、直線運動の加減速時に生じる位置偏差に対しても効果があることが確認された。