Berkovich圧子を用いたシリカナノ粒子の圧縮試験

抄録

Berkovich圧子を備えたナノインデンテーション装置によるシリカナノ粒子の圧縮試験法について検討した．圧子の走査によりダイヤモンド基板上に配置したシリカナノ粒子の位置を特定できることを確認し圧縮を行った．その結果，独立した単一粒子の圧縮が可能であることを明らかにした．また，Conical圧子で同様の試験を行った際に得られた挙動と比較した．