法線ベクトルを用いたナノ精度形状測定法における逐次計算による誤差低減

抄録

高精度の自由曲面測定を目指し，試料の法線ベクトル情報を利用する測定器を開発している．本手法は試料の理想曲面データを利用し，回転および直進ステージを制御し，レーザ光を動作させることで，試料をスキャンする．物理的な参照面を用いないため，自由曲面測定の可能性があるが，上記の理想曲面が擬似的な参照面として機能する．擬似参照面が形状導出結果に及ぼす影響，およびその影響の逐次計算による低減手法を報告する．