表面プラズモンポラリトン励起のためのパルスレーザー堆積法による窒化チタン薄膜の形成

抄録

表面プラズモン共鳴や表面プラズモンポラリトンに関する研究開発において、貴金属材料に代わる材料の検討が進められている。その一群に窒化金属膜が挙げられている。著者らは、このうち窒化チタン薄膜に注目し、平坦で薄く、結晶性の良い薄膜の形成を目指して、パルスレーザー堆積法による製膜研究を開始した。本講演では、各種製膜条件により生成されたTiN薄膜についての膜質やプラズモン材料としての特性評価の結果について報告する。