スロットダイコーターの精密計測に関する研究 第2報　マイクロプローブによる溝幅分布測定システムの構築

菊地 浩貴; 伊東 聡; 陳 遠流; 清水 裕樹; 高 偉; 高橋 和彦; 金山 利彦; 荒川 訓明; 林 敦

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_21

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_21

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主催: 公益社団法人精密工学会

スロットダイコーターの精密計測に関する研究

第2報　マイクロプローブによる溝幅分布測定システムの構築

*菊地浩貴, 伊東聡, 陳遠流, 清水裕樹, 高偉, 高橋和彦, 金山利彦, 荒川訓明, 林敦

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キーワード: スロットダイ, マイクロスリット, マイクロプローブ, 寸法計測, ナノメトロロジー

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抄録

本研究では試料表面に存在する水膜層検出型マイクロプローブを用いて，幅100 um未満のマイクロスリット溝幅を有するスロットダイコーターの精密寸法計測に取り組んでいる．前報では，マイクロプローブにより溝幅を測定不確かさ100 nm未満で測定が可能であることを明らかにした．本報では，座標測定機のアライメントを精密に調整し，スロットダイ全長に渡る溝幅測定の不確かさ評価を行ったので，その結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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