離型剤フリーレプリカモールドを用いたUV-NILにおける繰り返し転写耐久特性

抄録

UV照射により微細なパターンを転写する技術に、UV-NIL（ナノインプリントリソグラフィ）がある。このUV-NILによりレプリカモールドを作製し、このレプリカモールドを用いてUV-NILを行った。レプリカモールドは離型剤無しで離型効果を発揮するものであり、このレプリカモールドがどれくらい持つか繰り返しUV-NILを行うことにより耐久性を評価した。