トランスファプリントにおけるスタンプの表面粗さの影響

角場 洋平; 森 章洋; 案納 響平; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_259

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: D46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_259

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主催: 公益社団法人精密工学会

トランスファプリントにおけるスタンプの表面粗さの影響

*角場洋平, 森章洋, 案納響平, 金子新

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キーワード: トランスファプリント, スタンプ, 転写率, 表面粗さ

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抄録

本報告では，スタンプの表面性状，特に表面粗さがトランスファプリントの転写結果に及ぼす影響を明らかにすることを試みている．微細構造化したPDMSをいったんプラズマ処理した後にPTFEを成膜することで，表面エネルギが一定で表面粗さの異なるスタンプが得られる．Au薄膜を対象としてPET表面等へトランスファプリントし，その表面粗さが薄膜の転写率と形状精度に及ぼす影響を実験的に調査している．

責任著者(Corresponding author)

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