四点支持による大口径シリコンウェーハの反り形状測定精度の向上

抄録

本研究ではこれまでに，直径300mmシリコンウェーハの反り形状測定において外周三点を支持する三点支持法を提案した．さらに，重力によるたわみが増大する直径450mmウェーハの場合に外周三点に加えて中央部も支持する四点支持法を提案し，三点支持法と測定精度が同等であることを示した．本発表では，中央部を支持することでウェーハの振動が抑制されることにより三点支持と比較して不確かさが低減することを報告する．