位置指令を用いた象限突起の補正

抄録

リニアボールガイドとリニアモータからなる機構系を閉ループ制御し、1,10,100,1,000μｍの半径の円の象限突起を、新しい象限突起発生メカニズムに基づき補正する制御方法について述べる。まず、補正を行わないで円を発生し、この時の偏差をメモリする。次に、位置指令から偏差を減じて、同じ円を発生させる。この補正で偏差はゼロとなり、象限突起は補正される。この結果は新理論の正しさを示している。