ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_5

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主催: 公益社団法人精密工学会

ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

第2報：ナノ単粒子の三次元空間追跡法の提案

*Khajornrungruang Panart, 白川裕晃, 鈴木恵友, 堺航也

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キーワード: 二波長, エバネッセント光, ナノスケール, 粒子, 三次元, 追跡

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抄録

本講演では，二波長のエバネッセント光を用いることにより，ナノスケールにおける加工表面近傍に作用する単粒子（各粒子）の挙動を3次元的に追跡する手法を提案する．

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© 2016 公益社団法人精密工学会

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