微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究 非接触欠陥検出の原理検討

清水 裕樹; 松野 優紀; 大場 優太; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_7

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_7

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主催: 公益社団法人精密工学会

微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究

非接触欠陥検出の原理検討

*清水裕樹, 松野優紀, 大場優太, 高偉

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キーワード: 欠陥検出, 熱収支, 熱検知素子

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抄録

マイクロメートルサイズの熱検知素子を測定対象の平滑面に近接して創成する微空間での熱収支変化を検知することで，平滑面上の微小欠陥の存在を検出する手法を提案している．本報では，従来検討を進めてきた摩擦熱検知による接触式の微小欠陥検出に代わる，非接触方式での微小欠陥検出実現に向け，伝熱の基本3形態に基づいて熱検知素子-平滑面間の熱収支モデルを構築してその原理検討を実施した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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