フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発

田尻 陽亮; ヘムタビー パソムポーン; 高橋 邦夫; 齋藤 滋規

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_505

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: G23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_505

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主催: 公益社団法人精密工学会

フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発

*田尻陽亮, ヘムタビーパソムポーン, 高橋邦夫, 齋藤滋規

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キーワード: 静電チャック, 双極型, フォトリソグラフィ, 微細毛構造

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抄録

紙や布，プラスチックシートなど機械的把持が困難な薄膜誘電体に対し静電チャックにより把持，脱離を行う手法が注目されている．本研究ではフォトリソグラフィ技術により微細毛構造を持つコンプライアンスのある導電性梁を製作し，薄膜対象に対し従来の静電チャックよりも高い吸着力を発揮できる双極型静電チャックを開発する．また吸着力の測定実験と有限要素法解析を比較することで性能評価を行う．

責任著者(Corresponding author)

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