立軸ロータリ研削盤における砥石と工作物の相対速度比がウエハ表面粗さにおよぼす影響

抄録

一般に，ロータリ研削において砥石およびウエハの回転数が加工特性に及ぼす影響はその比で評価されている．しかし，直径の異なるウエハに同一の加工条件を与えようとしても，ウエハ周速度が異なるためそのまま使用することはできない．そこで砥石とウエハの周速度を用いてウエハ外周部とウエハ中心部における相対速度比を定義し，加工特性およぼす影響について実験的に明らかにする．