光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第2報） レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング

金 鐘剛; 道畑 正岐; 高谷 裕浩; 水谷 康弘

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_59

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_59

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第2報）

レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング

*金鐘剛, 道畑正岐, 高谷裕浩, 水谷康弘

著者情報

キーワード: 表面微細形状計測, レーザトラッピング, マイクロ球, イメージング

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

レーザトラッピング技術によって走査可能なマイクロ球を利用したイメージング方法を提案している．マイクロ球を試料面上で非接触走査することによって任意の位置でイメージングが実現される．大気中で捕捉されたマイクロ球が試料面近傍で対物レンズとして機能し，CCD面上に結像する装置を構築した．結像条件を実験的に明らかにし，マイクロ球を走査することで任意の位置でイメージングが可能であることを検証した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）