正弦波周波数変調干渉測長計における変調深さの実時間測定

山崎 涼; 樋口 雅人; Vu Thanh Tung; 韋 冬; 明田川 正人

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_63

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: A66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_63

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主催: 公益社団法人精密工学会

正弦波周波数変調干渉測長計における変調深さの実時間測定

*山崎涼, 樋口雅人, Vu Thanh Tung, 韋冬, 明田川正人

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キーワード: 変調深さ, リサージュダイアグラム, 周波数変調, レーザダイオード

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抄録

本研究室ではホモダイン干渉計周波数可変半導体レーザを用いた正弦波周波数変調法による変位測定を行っている．この手法は干渉計出力に含まれる2倍波，3倍波の信号から，リサージュダイアグラムを描くことができる．リサージュダイアグラムを得るには変調深さの値が必要となる．本研究では正弦波周波数変調干渉測長計で光路長が変化した場合において，実時間での変調深さの測定を行うシステムを開発する．

責任著者(Corresponding author)

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