AlN薄膜の縦方向圧電定数を指標とした圧電MEMSプロセスモニター

抄録

圧電MEMSデバイスの性能は、主に横方向圧電定数d₃₁を指標とし、カンチレバー作製後に電圧印加時の変位量をレザードップラー振動計で検出、d₃₁を算出していたが、プロセス初期に見積もる事が出来れば、さらに効率的である。本研究は、AlN薄膜をプロセス初期から測定可能な縦方向圧電定数d_33,fでプロセスモニターし、カンチレバーの横方向圧電定数d₃₁と縦方向圧電定数d_33,fの対応関係を示し、d_33,fから性能指標となるd₃₁の見積りを可能にした。