サブnmオーダ分解能を有する光スピンホール効果プローブの開発 （第一報）光スピンホール効果の諸特性

水谷 康弘; 上田 和徳; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2016S.0_981

2016年度精密工学会春季大会

セッションID: T03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2016S.0_981

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主催: 公益社団法人精密工学会

サブnmオーダ分解能を有する光スピンホール効果プローブの開発

（第一報）光スピンホール効果の諸特性

*水谷康弘, 上田和徳, 高谷裕浩

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キーワード: 光スピンホール効果, 光プローブ, 偏光計測, 弱測定

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抄録

非接触測定が可能な光プローブは，三次元計測において広く用いられている．測定の空間分解能はプローブの大きにより制限されており，回折限界から100nm以下の空間分解能の実現が困難となっている．本研究では，光スピンホール効果(SHE)により発生する10nm以下の光線シフトに着目し，サブnmオーダの空間分解能を有するSHEプローブの構築を目指している．本報告では，SHEの諸特性を検証したので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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